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一种冷氢化硅粉进料的氢气回收系统以及氢气回收方法 

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摘要:本发明提供一种冷氢化硅粉进料的氢气回收系统以及氢气回收方法。冷氢化硅粉进料的氢气回收系统,包括硅粉高压料斗、硅粉高压料斗过滤器以及回收氢气过滤器;所述硅粉高压料斗的氢气出口与所述硅粉高压料斗过滤器氢气入口连通,所述硅粉高压料斗过滤器的含硅粉氢气出口与所述回收氢气过滤器的氢气入口连通,所述回收氢气过滤器具有回收氢气出口。该氢气回收系统可以对冷氢化硅粉进料的氢气进行回收利用,减少了冷氢化过程中氢气的排放量,降低了多晶硅生产中氢气的消耗,并且降低了废气淋洗工序的负荷,降低生产成本。

主权项:1.一种冷氢化硅粉进料的氢气回收系统,其特征在于,包括补充氢压缩机、硅粉高压料斗、硅粉高压料斗过滤器以及回收氢气过滤器;所述补充氢压缩机的出口与所述硅粉高压料斗的压料氢气入口连通,所述硅粉高压料斗的氢气出口与所述硅粉高压料斗过滤器氢气入口连通,所述硅粉高压料斗过滤器的含硅粉氢气出口与所述回收氢气过滤器的氢气入口连通,所述回收氢气过滤器具有回收氢气出口。

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