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摘要：本发明提供一种光学传感器及电子设备，属于传感器技术领域，光学传感器包括底板、外壳、MEMS芯片和上光学模块，外壳罩设于底板形成有容纳腔，底板上形成有入声孔，MEMS芯片安装于底板，MEMS芯片包括衬底和间隔设置于衬底的敏感膜和上背极板，敏感膜设置于上背极板面向入声孔的一侧；上背极板形成有上光栅，敏感膜面向上光栅的一侧设置有上反射层，上光学模块包括上光源和上光电探测器，上光源发出的光线经过上光栅入射至上反射层，上光电探测器用于接收被上反射层反射的光线。本发明能够减少外界光线的干扰，具有检测准确度高和制作难度低的优点。
主权项：1.一种光学传感器，其特征在于，包括底板、外壳、MEMS芯片和上光学模块，所述外壳罩设于所述底板形成有容纳腔，所述底板上形成有入声孔，所述MEMS芯片安装于所述底板，所述MEMS芯片包括衬底和间隔设置于所述衬底的敏感膜和上背极板，所述敏感膜设置于所述上背极板面向所述入声孔的一侧；所述上背极板形成有上光栅，所述敏感膜面向所述上光栅的一侧设置有上反射层，所述上光学模块包括上光源和上光电探测器，所述上光源发出的光线经过所述上光栅入射至所述上反射层，所述上光电探测器用于接收被所述上反射层反射的光线。
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百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 光学传感器及电子设备
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