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摘要：本发明提供了一种从高沸物中回收氯硅烷的工艺及系统，涉及多晶硅生产技术领域；该工艺包括：去除液相高沸物中的金属杂质得到滤清液；加热滤清液得到气相高沸物，同时使未被去除的金属杂质成为气态；将气相高沸物与气相氯化氢混合得到反应混合气，使反应混合气在高温环境下发生裂解反应得到氯硅烷混合气；去除氯硅烷混合气中的金属杂质；将氯硅烷混合气冷凝后，得到包括氯硅烷和残余高沸物的初级产品液；对初级产品液进行分离提纯，得到氯硅烷产品液。该装置应用了上述工艺。上述工艺及装置将液相高沸物汽化后与气相氯化氢反应，过程中没有消耗高沸物本身的氯、硅元素，有效减少了物料的损耗量，且不会产生其他新物质，从而降低了生产能耗。
主权项：1.一种从高沸物中回收氯硅烷的工艺，其特征在于，包括：过滤去除多晶硅生产过程中产生的液相高沸物中的固态金属杂质，得到滤清液；加热所述滤清液，使其中的液相高沸物沸腾汽化得到气相高沸物，同时，使未被去除的固态金属杂质浓缩并伴随汽化成为气态金属杂质；将所述气相高沸物与气相氯化氢混合得到反应混合气，使所述反应混合气在250℃~600℃高温环境下充分接触发生裂解反应，得到包括三氯氢硅、四氯化硅和二氯硅烷的氯硅烷混合气，氯硅烷混合气还携带有所述气态金属杂质；低压洗涤去除所述氯硅烷混合气中携带的固态金属杂质和气态金属杂质；将去除固态金属杂质和气态金属杂质后的氯硅烷混合气进行冷凝后，得到包括氯硅烷和残余高沸物的初级产品液；利用沸点差异对所述初级产品液进行氯硅烷与残余高沸物的分离提纯，得到氯硅烷产品液。
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