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摘要:本发明实施例公开了氮化硼基电容式湿度传感器及其制备方法;制备方法包括:在聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上蒸镀金层;刻蚀金层,在聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上形成金叉指电极;将氮化硼分散液旋涂在叉指电极上,得到氮化硼基电容式湿度传感器。氮化硼基电容式湿度传感器包括聚苯二甲酸乙二醇酯衬底和在该衬底上形成的金叉指电极,金叉指电极上覆盖有氮化硼层;其中,金叉指电极的叉指间距为100μm,氮化硼层由粒度为100~200nm的六方氮化硼纳米片形成。经过氨水亲水化处理的六方氮化硼纳米片在金叉指电极表面形成的氮化硼层,具有良好的亲水性能,能够在相对湿度11~98%RH内进行准确检测,而且具有高的灵敏度,可达124135.57%pFRH。
主权项:1.氮化硼基电容式湿度传感器的制备方法,其特征在于,包括步骤:S1、在聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上蒸镀金层;S2、刻蚀金层,在聚对苯二甲酸乙二醇酯衬底上形成金叉指电极;S3、将氮化硼分散液旋涂在叉指电极上,得到氮化硼基电容式湿度传感器;其中,所述氮化硼分散液中的氮化硼经过氨水亲水化处理。
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