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摘要：本发明公开一种悬臂式探针卡装置及散射式探针。所述散射式探针包含一力臂段及相连于所述力臂段两端的一主体段与一针测段。所述主体段位于所述力臂段的一侧，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于相反侧的一焊接端部与一延伸端部。所述针测段沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧。所述针测段包含一针尖部及连接所述针尖部与所述力臂段的一直立部。所述直立部的整个外表面形成一粗糙化表面，其具有介于0.1微米～1微米的一中心线平均粗糙度。所述针测段能于一检测设备的观测作业之中，仅以所述针尖部形成有一观测点位。据此，通过所述直立部形成有所述粗糙化表面，以使得所述检测设备能够较为准确地得知所述针尖部。
主权项：1.一种悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置包括：一基板，包含有多个焊垫；以及多个散射式探针，固定于所述基板；其中，每个所述散射式探针包含有：一力臂段；一主体段，位于所述力臂段的一侧，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于相反侧的一焊接端部与一延伸端部；一针测段，沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧；其中，所述针测段包含有一针尖部及连接所述针尖部与所述力臂段的一直立部；其中，所述直立部的整个外表面形成一粗糙化表面，其具有介于0.1微米～1微米的一中心线平均粗糙度；其中，于每个所述散射式探针之中，所述针测段能于一检测设备的观测作业之中，仅以所述针尖部形成有一观测点位；其中，多个所述散射式探针以其所述主体段的所述焊接端部分别固定于所述基板的多个所述焊垫。
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百度查询： 台湾中华精测科技股份有限公司 悬臂式探针卡装置及散射式探针
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