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摘要：本发明公开一种悬臂式探针卡装置及微机电探针。所述微机电探针包含一力臂段及相连于所述力臂段两端的一主体段与一针测段。所述主体段位于所述力臂段的一侧，所述主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于所述布局区域相反侧的一焊接端部与一延伸端部。所述针测段沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧。所述主体段在所述布局区域形成有多个穿孔，并且多个所述穿孔为所述外轮廓所围绕区域的3％～70％。所述布局区域与所述外轮廓相隔有一布局间距，其不小于任一个所述穿孔的内径。据此，所述微机电探针通过在所述布局区域有多个所述穿孔，使得在制造过程能提供药液流过而更全面地去除光刻胶层。
主权项：1.一种悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置包括：一基板，包含有多个焊垫；以及多个微机电探针，固定于所述基板；其中，每个所述微机电探针包含有：一力臂段；一主体段，位于所述力臂段的一侧，所述主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于所述布局区域相反侧的一焊接端部与一延伸端部；及一针测段，沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧；其中，于每个所述微机电探针之中，所述主体段在所述布局区域形成有多个穿孔，并且多个所述穿孔为所述外轮廓所围绕区域的3％～70％；其中，所述布局区域与所述外轮廓相隔有一布局间距，其不小于任一个所述穿孔的内径；其中，多个所述微机电探针以其所述主体段的所述焊接端部固定于所述基板的多个所述焊垫。
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百度查询： 台湾中华精测科技股份有限公司 悬臂式探针卡装置及微机电探针
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