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一种探针基板装置 

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摘要:本实用新型实施例公开了一种探针基板装置,所述装置包括第一基板、转换基板、硬支撑结构、探针电路板,其中:在所述第一基板上垂直打孔灌注导电金属,所述导电金属一端与测试针连接,所述导电金属另一端与所述转换基板的一侧相连;所述转换基板的另一侧与所述探针电路板固定相连;所述硬支撑结构位于所述第一基板和所述探针电路板之间。

主权项:1.一种探针基板装置,其特征在于,包括第一基板100、转换基板110、硬支撑结构120、探针电路板130,其中:在所述第一基板100上垂直打孔灌注导电金属150,所述导电金属150一端与测试针190连接,所述导电金属150另一端与所述转换基板110一侧相连;所述转换基板110另一侧与所述探针电路板130固定相连;所述硬支撑结构120位于所述第一基板100和所述探针电路板130之间。

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