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摘要：提供基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法，实现搬运作业的稳定化。本公开的一个方面的基板搬运机器人具备支承基板的手部和使手部动作的臂。手部具有：吸附部，其通过吸附来保持基板的背面，并能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在支承着基板的吸附部收缩后的状态下，通过摩擦来保持背面；以及非接触保持部，其在吸附部以及摩擦保持部保持着背面的状态下，以非接触状态保持背面。
主权项：1.一种基板搬运机器人，其具备：手部，其支承基板；以及臂，其使所述手部动作，所述手部具有：吸附部，其通过吸附来保持所述基板的背面，且能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在支承着所述基板的所述吸附部收缩后的状态下，通过摩擦来保持所述背面；以及非接触保持部，其在所述吸附部及所述摩擦保持部保持着所述背面的状态下，以非接触状态保持所述背面。
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百度查询： 株式会社安川电机 基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法
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