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摘要：本发明涉及基板处理装置。高效地抑制因在板设有缺口而引起的微粒的产生。一实施方式的基板处理装置具备：基板保持部，其具有位于基板的下方的位置的板和设于板的周缘部的多个基板把持构件，板在周缘部具有多个缺口部；旋转驱动部，其使基板保持部旋转；多个升降销，其能够从下方支承基板的周缘部并进行升降；多个滑动构件，其能够沿水平方向滑动地设于板，各滑动构件能够在封闭板的缺口部的封闭位置和使升降销能够穿过所述缺口部进行升降的开放位置之间移动；以及多个操作构件，其分别能够升降地设于板的下方，并且能够与各滑动构件卡合，多个操作构件分别以与所述滑动构件卡合的状态进行升降，从而使所述滑动构件沿水平方向滑动。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，该基板处理装置具备：基板保持部，其将基板以水平姿势保持，所述基板保持部具有板和多个基板把持构件，该板在所述基板保持部保持所述基板时位于所述基板的下方的位置，该多个基板把持构件设于所述板的周缘部并且保持所述基板，所述板在周缘部具有多个缺口部；旋转驱动部，其使所述基板保持部绕铅垂轴线旋转；多个升降销，其构成为能够从下方支承所述基板的周缘部，并且能够穿过所述板的所述缺口部进行升降；多个滑动构件，其能够沿水平方向滑动地设于所述基板保持部的所述板，各所述滑动构件能够在至少局部地封闭所述板的各缺口部的封闭位置和使所述板的各缺口部开放而使升降销能够穿过所述缺口部进行升降的开放位置之间移动；以及多个操作构件，其分别能够升降地设于所述基板保持部的所述板的下方，并且能够与各所述滑动构件卡合，所述多个操作构件分别以与所述滑动构件卡合的状态进行升降，从而使所述滑动构件沿水平方向滑动。
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百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置
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