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摘要：提供一种能够在短时间内进行高效的清洗工具的自我清洗的基板清洗装置。基板清洗装置具备：清洗工具，该清洗工具用于与基板的表面接触而对基板进行清洗；自我清洗部件，该自我清洗部件用于与清洗工具接触而对清洗工具进行自我清洗；清洗工具旋转机构，该清洗工具旋转机构用于使清洗工具旋转；清洗工具保持机构，该清洗工具保持机构对清洗工具进行保持，能够将清洗工具按压于基板，并且能够将清洗工具按压于自我清洗部件。另外，基板清洗装置具备控制部，该控制部以使得在对清洗工具进行自我清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的自我清洗时转矩成为规定转矩的方式控制清洗工具向自我清洗部件的按压力，该规定转矩是在清洗工具对基板进行清洗时清洗工具旋转机构使清洗工具旋转的基板清洗时转矩以上的转矩。
主权项：1.一种基板清洗装置，其特征在于，具备：清洗工具，该清洗工具用于与基板的表面接触而对该基板进行清洗；自我清洗部件，该自我清洗部件用于与所述清洗工具接触而对该清洗工具进行自我清洗；清洗工具旋转机构，该清洗工具旋转机构用于使所述清洗工具旋转；清洗工具保持机构，该清洗工具保持机构对所述清洗工具进行保持，能够将所述清洗工具按压于所述基板，并且能够将所述清洗工具按压于所述自我清洗部件；以及控制部，该控制部以使得在所述清洗工具与所述自我清洗部件接触时所述清洗工具旋转机构使所述清洗工具旋转的转矩成为规定转矩的方式控制所述清洗工具向所述自我清洗部件的按压力，该规定转矩比在所述清洗工具对所述基板进行清洗时所述清洗工具旋转机构使所述清洗工具旋转的基板清洗时转矩大。
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百度查询： 株式会社荏原制作所 基板清洗装置及基板清洗方法
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