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摘要:本发明公开一种悬臂式探针卡装置及悬臂探针模块。所述悬臂探针模块包含多个第一探针与所述第二探针。每个所述第一探针包含一第一力臂段及相连于所述第一力臂段两端的一第一主体段与一第一针测段。每个所述第二探针包含一第二力臂段、相连于所述第二力臂段两端的一延伸段与一第二针测段及相连于所述延伸段的一第二主体段。所述延伸段的高度介于所述第二主体段的高度的5%~50%。当多个所述第一探针的第一主体段与多个所述第二探针的第二主体段用来彼此交错排列地固定于一基板时,多个所述第一针测段与多个所述第二针测段排成一列。据此,每个所述第二探针通过形成有所述延伸段,使其能够搭配多个所述第一探针、并保有大致彼此相同的针压。
主权项:1.一种悬臂式探针卡装置,其特征在于,所述悬臂式探针卡装置包括:一基板,包含有多个第一焊垫与多个第二焊垫,并且多个所述第一焊垫沿一排列方向排成一第一列,而多个所述第二焊垫沿所述排列方向排成平行且间隔于所述第一列的一第二列;以及一悬臂探针模块,固定于所述基板并包含有:多个第一探针,各为一体成型的单件式构造且包含有:一第一主体段,具有沿垂直所述排列方向的一预设方向分别位于相反侧的一第一焊接端部与一第一延伸端部;一第一力臂段,相连于所述第一主体段的所述第一延伸端部;及一第一针测段,沿所述预设方向呈直立状且相连于所述第一力臂段;及多个第二探针,与多个所述第一探针交错排列,并且每个所述第二探针为一体成型的单件式构造且包含有:一第二主体段,具有沿所述预设方向分别位于相反侧的一第二焊接端部与一第二延伸端部,并且所述第二主体段于所述预设方向上具有一主体高度;一延伸段,相连于所述第二主体段,并且所述延伸段于所述预设方向上具有一延伸高度,其介于所述主体高度的5%~50%;一第二力臂段,相连于所述延伸段;及一第二针测段,沿所述预设方向呈直立状且相连于所述第二力臂段;其中,多个所述第一探针的所述第一焊接端部固定于多个所述第一焊垫,并且多个所述第二探针的所述第二焊接端部固定于多个所述第二焊垫,而多个所述第一探针的所述第一针测段与多个所述第二探针的所述第二针测段沿所述排列方向排成一列;其中,当多个所述第一探针的所述第一针测段与多个所述第二探针的所述第二针测段用来抵接于一待测物时,任一个所述第一探针的所述第一针测段所形成的针压,其为任一个所述第二探针的所述第二针测段所形成的针压的95%~105%。
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百度查询: 台湾中华精测科技股份有限公司 悬臂式探针卡装置及悬臂探针模块
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