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摘要：本申请提供一种游星轮外圈贴带传动装置，涉及半导体加工设备技术领域，包括：主动机构、传动机构和从动机构；其中，所述主动机构用于提供旋转动力；所述传动机构包括主动轮、从动轮以及双面同步带，所述双面同步带的内侧具有内齿结构，外侧具有外齿结构，所述双面同步带环绕于所述主动轮与所述从动轮之间；所述从动机构包括大圈同步带和销齿圈，所述大圈同步带的带齿结构与所述双面同步带的外齿结构相啮合，所述大圈同步带套设于所述销齿圈的外侧并与所述销齿圈固定连接，所述销齿圈以工作台的圆心为转动中心环绕转动于所述工作台的外侧并用于带动游星轮转动。解决了相关技术中游星轮运行不平稳或震动而导致晶圆片的研磨抛光质量下降、甚至造成晶圆片报废的缺陷。

主权项：1.一种外圈驱动系统，其特征在于，包括游星轮外圈贴带传动装置、游星轮外圈滚道装置和游星轮外圈升降闪停装置；所述游星轮外圈贴带传动装置包括：主动机构1、传动机构2和从动机构3；其中，所述主动机构1用于提供旋转动力；所述传动机构2包括主动轮21、从动轮22以及双面同步带23，所述主动机构1用于带动所述主动轮21旋转；所述从动轮22位于所述主动轮21的水平一侧；所述双面同步带23的内侧具有内齿结构，外侧具有外齿结构，所述双面同步带23环绕于所述主动轮21与所述从动轮22之间，所述双面同步带23的内齿结构与所述主动轮21和所述从动轮22相啮合；所述从动机构3包括大圈同步带31和销齿圈32，所述大圈同步带31的周向外壁具有带齿结构，所述大圈同步带31的带齿结构与所述双面同步带23的外齿结构相啮合，所述大圈同步带31套设于所述销齿圈32的外侧并与所述销齿圈32固定连接，所述销齿圈32以机床工作台101的圆心为转动中心环绕转动于所述机床工作台101的外侧并用于带动游星轮102转动；所述游星轮外圈升降闪停装置包括用于带动游星轮外圈沿竖直方向移动的升降机构5以及用于对升降机构5瞬间停止对游星轮外圈升降的闪停机构6；其中，所述升降机构5包括：驱动装置51，用于提供旋转动力；丝轴52，沿竖直方向设置，所述驱动装置51带动所述丝轴52转动，所述丝轴52用于传输所述旋转动力，所述丝轴52顶部的周向侧壁加工有螺纹结构；丝母53，螺纹连接于所述丝轴52的顶部，通过所述丝轴52转动能够使所述丝母53沿竖直方向移动，所述丝母53用于带动游星轮外圈升降；所述闪停机构6包括：活动卡接件61，与所述丝轴52底部之间设置有能够使所述活动卡接件61沿着所述丝轴52的长度方向滑动但无法沿水平方向相对转动的卡接结构7；固定卡接件62，位于所述活动卡接件61的上方，能够与所述活动卡接件61形成卡接使二者相对固定，所述固定卡接件62始终处于固定状态；传动卡接件63，位于所述活动卡接件61的下方，能够与所述活动卡接件61形成卡接使二者相对固定，所述驱动装置51带动所述传动卡接件63转动；位移装置64，用于带动所述活动卡接件61上升或下降，当需要使所述驱动装置51带动所述丝轴52转动时，所述位移装置64带动所述活动卡接件61下降，使所述活动卡接件61与所述传动卡接件63卡接固定；当需要使所述丝轴52闪停时，所述位移装置64带动所述活动卡接件61上升，使所述活动卡接件61与所述固定卡接件62卡接固定。

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百度查询： 北京特思迪半导体设备有限公司 一种游星轮外圈贴带传动装置以及外圈驱动系统