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摘要：本发明公开一种异质集成CWDM4光发射芯片，该芯片集成有四个MZ电光调制器、四个激光器和一个波分复用器，四个激光器键合在衬底上，衬底上设有SiO2层，SiO2层上设有Si层；MZ电光调制器均包括PLC波导合路器、PLC波导分路器和一对硅波导相移臂；四个MZ电光调制器的PLC波导合路器、分路器均设置在SiO2层内，四个MZ电光调制器的硅波导相移臂均设置在Si层上；波分复用器设置在SiO2层内；四个激光器输出的光信号分别端面耦合进入四个MZ电光调制器的PLC波导分路器，四个MZ电光调制器的PLC波导合路器的输出端分别通过PLC波导连接波分复用器。本发明的异质集成CWDM4光发射芯片兼具高调制速率和低损耗的技术优势，并且在出光端可以直接与单模光纤实现低损耗的端面耦合。
主权项：1.一种异质集成CWDM4光发射芯片，包括四个MZ电光调制器、四个波长不同的激光器和一个波分复用器，其特征在于：四个激光器依次键合在衬底上；所述衬底上设有SiO2层，所述SiO2层上设有Si层；所述MZ电光调制器均包括PLC波导合路器、PLC波导分路器和一对硅波导相移臂；所述四个MZ电光调制器的PLC波导合路器和PLC波导分路器均设置在SiO2层内，所述四个MZ电光调制器的硅波导相移臂均设置在Si层上；构成MZ电光调制器的PLC波导分路器的两路分支基于倏逝波耦合分别与所述一对硅波导相移臂光路连通，构成MZ电光调制器的PLC波导合路器的两路分支基于倏逝波耦合分别与所述一对硅波导相移臂光路连通；所述波分复用器设置在SiO2层内；所述四个激光器输出的光信号分别端面耦合进入所述四个MZ电光调制器的PLC波导分路器，所述四个MZ电光调制器的PLC波导合路器的输出端分别通过PLC波导连接所述波分复用器；所述衬底上刻蚀有台阶槽，所述四个激光器依次键合在所述台阶槽上；所述一对硅波导相移臂在SiO2层上的正投影分别与所述PLC波导分路器两路分支的近输出端重叠，该重叠的长度或和宽度与倏逝波耦合的耦合效率相关。
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