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转盘式集中多级抽真空系统 

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摘要:一种转盘式集中多级抽真空系统,包括主抽真空部分,主抽真空部分包括主抽真空泵和用于连接主抽真空泵与工件的真空管,在真空管的管路中设有控制阀,以及在真空管的自由端设有用于与工件连接的连接头,还包括预抽真空部分,预抽真空部分包括设在转盘上,可随转盘一起转动的预抽真空泵,设在转盘上的圈形预抽真空管,圈形预抽真空管与预抽真空泵连接,圈形预抽真空管设有若干与圈形预抽真空管连通的支真空管,支真空管通过预抽真空控制阀与控制阀和连接头之间的管道连接。本发明即可以将转盘的直径做得更小,也不会产生在每套支管的工件进入抽真空环境时,对其它的支管的真空度破坏严重,整体真空度波动较大的问题。

主权项:1.一种转盘式集中多级抽真空系统,包括主抽真空部分(1),所述主抽真空部分(1)包括主抽真空泵(11)和用于连接主抽真空泵(11)与工件(12)的真空管(13),在所述真空管(13)的管路中设有控制阀(14),以及在所述真空管(13)的自由端设有用于与工件(12)连接的连接头(15),其特征在于:还包括预抽真空部分(2),所述预抽真空部分(2)包括设在转盘上,可随转盘(16)一起转动的预抽真空泵(21),设在转盘(16)上的圈形预抽真空管(22),所述圈形预抽真空管(22)与所述预抽真空泵(21)连接,所述圈形预抽真空管(22)设有若干与圈形预抽真空管(22)连通的支真空管(24),所述支真空管(24)通过预抽真空控制阀(23)与控制阀(14)和连接头(15)之间的管道(141)连接;需要预抽真空时,关闭所述控制阀(14),开启预抽真空控制阀(23);预抽真空完毕,所述预抽真空控制阀(23)关闭,所述控制阀(14)开启,主抽真空部分(1)工作;所述圈形预抽真空管(22)呈环状,所述圈形预抽真空管(22)与所述转盘(16)的转动轴同轴心;还包括干燥气体回充部分(3),所述干燥气体回充部分(3)包括回充气主管接头(31)、回充气体输送管道(32)和回充气体控制阀(33),所述回充气主管接头(31)通过所述回充气体输送管道(32)和回充气体控制阀(33)与所述连接头(15)连接;所述支真空管(24)的数量与所述管道(141)数量相等,并可随转盘(16)转动;所述预抽真空控制阀(23)是电磁阀。

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