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摘要：提供了一种用于对工件进行束流切割的束流加工头10；100；200，其具有：用于能量束源14；201的接口12，能量束源用于产生聚焦的加工能量束15；206，能量束源选自粒子束源、燃料流体束源、等离子束源和或用于电磁辐射的源；用于加工能量束的出口开口16，该出口开口由开口边缘18界定；光学检测器单元19，该光学检测器单元用于对从工件11通过出口开口发射到束流加工头10；100；200中的并且由加工能量束在工件中诱发的电磁辐射17进行记录；和监测单元30，其以数据传输的方式连接至光学检测器单元，监测单元用于对所发射的电磁辐射的中心与出口开口之间的位置关系进行监测，其中，监测单元30具有：第一确定模块，该第一确定模块用于对出口开口在至少一个图像中的至少一个位置180；182进行确定；第二确定模块，该第二确定模块用于对所发射的电磁辐射的中心在至少一个图像中的至少一个位置170进行确定；和第三确定模块，该第三确定模块用于对所发射的电磁辐射的中心的至少一个位置170与出口开口16的至少一个位置180；182之间的位置关系进行确定。还公开了用于进行束流切割的束流加工装置和方法。

主权项：1.一种束流加工头，所述束流加工头用于对工件进行束流切割，所述束流加工头具有用于能量束源14；201的接口12，所述能量束源14；201用于产生聚焦的加工能量束15；206，所述能量束源14；201选自粒子束源、燃料流体束源、等离子束源和或用于电磁辐射的源；所述束流加工头具有：用于所述加工能量束的出口开口16，所述出口开口16由开口边缘18界定；光学检测器单元19，所述光学检测器单元19用于对从所述工件11通过所述出口开口16发射到所述束流加工头10；100；200中的电磁辐射17的至少一个图像进行记录，所述电磁辐射17由所述加工能量束在所述工件中诱发并且为处理光；以及监测单元30，所述监测单元30以数据传输的方式连接至所述光学检测器单元，所述监测单元30用于对所发射的所述电磁辐射17的中心与所述出口开口16之间的位置关系进行监测，其中，所述监测单元30具有：第一确定模块，所述第一确定模块用于对所述出口开口16在所述至少一个图像中的至少一个位置180；182进行确定；第二确定模块，所述第二确定模块用于对所发射的所述电磁辐射17的中心在所述至少一个图像中的至少一个位置170进行确定；以及第三确定模块，所述第三确定模块用于对所发射的所述电磁辐射17的中心的至少一个位置170与所述出口开口16的至少一个位置180；182之间的所述位置关系进行确定；其特征在于，所述第二确定模块配置成将所发射的辐射的最高能量密度的中心的位置确定为所发射的所述电磁辐射17的中心的位置170。

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