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摘要：本实用新型提供了一种晶圆级老化测试夹具及晶圆级老化测试装置，涉及晶圆测试技术领域。本实用新型的加热装置包括加热膜层和连接组件，加热膜层具有均匀布置的电阻丝以及与电阻丝连接的至少一个通电接口，加热膜层设于热沉远离晶圆的一侧以通过热沉对晶圆加热，连接组件包括穿过下密封组件的至少一组第一连接探针组，任一第一连接探针组的一端与相应的通电接口接触，另一端穿过下密封组件并与电气组件接触，以使得电气组件对加热膜层供电加热，升降机构从而对热沉上的晶圆进行加热。上述技术方案采用具有均匀布置的电阻丝的加热膜层，取消了现有技术中采用多个加热片的技术方案，可以使得晶圆受热均匀，避免晶圆出现局部过热的情况。
主权项：1.一种晶圆级老化测试夹具，其特征在于，所述晶圆级老化测试夹具包括盖板组件、下密封盖组件及用于承载晶圆的热沉，所述盖板组件与所述下密封盖组件连接形成测试腔体，所述热沉位于所述测试腔体内；加热装置位于所述测试腔体内，所述热沉堆叠于所述加热装置的上方，所述加热装置与位于所述下密封盖组件下方的电气组件电性连接，所述加热装置包括：加热膜层，具有均匀布置的电阻丝以及与所述电阻丝连接的至少一个通电接口，所述加热膜层设于所述热沉远离所述晶圆的一侧以通过所述热沉对所述晶圆加热；连接组件，包括穿过所述下密封盖组件的至少一组第一连接探针组，任一所述第一连接探针组的一端与相应的所述通电接口接触，另一端穿过所述下密封盖组件并与所述电气组件接触，以使得所述电气组件对所述加热膜层供电加热。
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