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荧光X射线分析装置 

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摘要:荧光X射线分析装置具备:试样台,其形成有通过面;X射线源,其以一次X射线的光轴相对于通过面倾斜地交叉的方式射出一次X射线;以及检测器,其检测通过向试样照射一次X射线而从试样放出的荧光X射线,其中,光轴在比沿光轴将通过面的两端连接的线段的中点靠近X射线源的位置通过所述通过面。

主权项:1.一种荧光X射线分析装置,对试样进行分析,所述荧光X射线分析装置具备:试样台,其形成有一次X射线能够通过的通过面;X射线源,其以所述一次X射线的光轴相对于所述通过面倾斜地交叉的方式射出所述一次X射线;以及检测器,其检测通过向以覆盖所述通过面的方式配置的试样照射所述一次X射线而从试样放出的荧光X射线,其中,在俯视观察所述试样台的情况下,所述光轴在比沿所述光轴将所述通过面的两端连接的线段的中点靠近所述X射线源的位置通过所述通过面。

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