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植球治具 

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摘要:本申请提供一种植球治具备,涉及半导体技术领域,所述植球治具包括钢网、框架及调节组件,钢网具有弹性;钢网包括位于中心区域且间隔设置的多个植球孔;钢网安装于框架上;调节组件设置在框架上,调节组件与钢网连接,调节组件用于在至少一个平行于钢网的方向上施加拉伸所述钢网的力,如此,可以对钢网的张力进行调整,以实现钢网的拉伸或收缩,提高钢网的适配性,在通过钢网进行植球时,可以对植球孔的位置进行调整,使植球孔能够与基板的焊盘精准对位,降低钢网的偏移量,从而减少因重新植球或修正带来的成本,提高植球精度和植球效率。

主权项:1.一种植球治具,其特征在于,包括:钢网,所述钢网具有弹性;所述钢网包括位于中心区域且间隔设置的多个植球孔;框架,所述钢网安装于所述框架上;调节组件,所述调节组件设置在所述框架上,所述调节组件与所述钢网连接,所述调节组件用于在至少一个平行于所述钢网的方向上施加拉伸所述钢网的力。

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权利要求:

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