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摘要：本发明属于半导体光电探测器技术领域，为了解决现有技术中热电子发射机制的相应器件往往存在着响应带宽较窄、吸收效率较低等问题，公开了一种光通信波段完美吸收的宽谱热电子光探测器，包括：硅基衬底层，所述硅基衬底层表面刻蚀形成周期性的光栅结构，所述光栅结构表面依次设有底电极层、介电层和顶电极层，所述底电极层和顶电极层的材料为氮化钛，介电层的材料为氧化锌。本发明的探测器具有响应度高，应用波长范围广、环境适应度高等优点。
主权项：1.一种光通信波段完美吸收的宽谱热电子光探测器，其特征在于，包括：硅基衬底层1，所述硅基衬底层1表面刻蚀形成周期性的光栅结构，所述光栅结构表面依次设有底电极层2、介电层3和顶电极层4，所述底电极层2和顶电极层4的材料为氮化钛。
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百度查询： 太原理工大学 光通信波段完美吸收的宽谱热电子光探测器及其制备方法
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