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摘要：本发明提供感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法。包含以下的感光性树脂组合物具有改进的膜性质：含有硅亚苯基骨架和芴骨架并且在分子内具有可交联位点的聚合物，Mw为300‑10,000的酚化合物，光致产酸剂，和苯并三唑或咪唑化合物。即使由厚膜，也可形成细微尺寸图案。
主权项：1.感光性树脂组合物，其包含：A包含具有以下所示的式A1的重复单元、和选自具有以下所示的式A2的重复单元和具有以下所示的式A3的重复单元中至少一种类型的重复单元的聚合物，B重均分子量为300至10,000的酚化合物，C光致产酸剂，D苯并三唑化合物和或咪唑化合物，和E有机溶剂， 其中X1和X2各自独立地为氢或缩水甘油基团，Y1是C1-C5直链或支化烷二基基团，Z1是可含有羟基的C1-C10直链烷二基基团、C2-C10支化烷二基基团或具有式A4的二价基团： 其中Z11和Z13各自独立地为C1-C5直链或支化烷二基基团，Z12是C1-C30二价烃基团，a4和a5各自独立地为1至50的整数，R1、R2、R3和R4各自独立地为氢或C1-C10一价烃基团，a1、a2和a3是在以下范围内的数：0a11、0≤a21、0≤a31和a1+a2+a3＝1，x和y各自独立地为1至50的整数，重均分子量为300至10,000的酚化合物为具有以下式B1、B2或B3的化合物， 其中，j是1或2，m、p和r各自独立地为0至3的整数，q是1至3的整数，并且n是1至4的整数，满足1≤m+n+p≤6和1≤q+r≤5，k是2或3的整数，s和t各自独立地为0至3的整数，满足0≤s+t≤4，R11至R16各自独立地为氢、甲基、或具有以下式B4的基团，条件是R11至R13中至少一个和R14至R16中至少一个是具有式B4的基团，其中u是1至3的整数， 其中，u和v各自独立地为0至3的整数，满足0≤u+v≤4。
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百度查询： 信越化学工业株式会社 感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法
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