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树脂组合物、感光干膜及其应用 

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摘要:本发明提供了一种树脂组合物、感光干膜及其应用。按重量份计,该树脂组合物包括:40~70份的碱溶性树脂、20~50份的光聚合单体、0.5~10份的光引发剂以及0.05~1.5份的聚醚改性硅消泡剂;聚醚改性硅消泡剂中包括气相SiO2;树脂组合物中,硅元素的含量为10~350ppm。本发明提供了一种包含有聚醚改性硅消泡剂的树脂组合物,同时基于该具备特定固含量与粘度的含气相SiO2的聚醚改性硅消泡剂的消泡作用,显著降低了该树脂组合物在形成感光干膜并显影时产生的泡沫量。

主权项:1.一种树脂组合物,其特征在于,按重量份计,所述树脂组合物包括:40~70份的碱溶性树脂、20~50份的光聚合单体、0.5~10份的光引发剂以及0.05~1.5份的聚醚改性硅消泡剂;所述聚醚改性硅消泡剂中包括气相SiO2;所述树脂组合物中,硅元素的含量为10~350ppm。

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