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摘要:本公开实施例提供了一种柔性传感器,其中,包括:柔性基板;多个超声波检测器,位于柔性基板之上;多个检测电路,分别与各超声波检测器对应;检测电路位于柔性基板与对应的超声波检测器之间,被配置为驱动超声波检测器发射超声波,并检测超声波检测器接收到超声波后输出的检测信号;超声波检测器,包括:与检测电路耦接的第一电极,位于第一电极背离柔性基板一侧的第二电极,以及位于第一电极与第二电极之间的压电感应层;在各检测电路以外的区域中设有多个开孔;开孔贯穿检测电路中的至少部分膜层。
主权项:1.一种柔性传感器,其中,包括:柔性基板;多个超声波检测器,位于所述柔性基板之上;多个检测电路,分别与各所述超声波检测器对应;所述检测电路位于所述柔性基板与对应的所述超声波检测器之间,被配置为驱动所述超声波检测器发射超声波,并检测所述超声波检测器接收到超声波后输出的检测信号;所述超声波检测器,包括:与所述检测电路耦接的第一电极,位于所述第一电极背离所述柔性基板一侧的第二电极,以及位于所述第一电极与所述第二电极之间的压电感应层;在各所述检测电路所在层设有遮光部;在各所述检测电路以外的区域中设有多个开孔;所述开孔贯穿所述检测电路中的至少部分膜层;其中,至少部分所述超声波检测器靠近所述柔性基板的一侧设有支撑结构;所述支撑结构在所述柔性基板的正投影位于所述检测电路在所述柔性基板的正投影内;所述超声波检测器沿对应的所述支撑结构的第一表面延伸,所述第一表面为所述支撑结构背离所述柔性基板一侧的表面;所述支撑结构为以下结构之一:所述支撑结构为朝向所述超声波检测器一侧凸出的凸起结构、所述支撑结构为在背离所述柔性基板的一侧具有凹槽的凹陷结构。
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