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一种垂直浸洗蚀刻装置 

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摘要:本实用新型公开了一种垂直浸洗蚀刻装置,包括:垂直固定件,所述垂直固定件内部开设有反应腔,所述反应腔的开口用于密封连接待加工件,使所述待加工件的刻蚀面垂直于水平面并位于所述反应腔的内侧;所述反应腔的底部设置有刻蚀液的输入口,用于刻蚀液从底部注入直至充满所述反应腔;排液阀,所述排液阀连接在反应腔的底部,用于将反应后的刻蚀液,和或,清洁后的纯水从反应腔内排出;所述反应腔的底部设置有进水口,用于使纯水从底部注入直至充满所述反应腔使清洗刻蚀后的刻蚀面。

主权项:1.一种垂直浸洗蚀刻装置,其特征在于,包括:垂直固定件,所述垂直固定件内部开设有反应腔,所述反应腔的开口用于密封连接待加工件,使所述待加工件的刻蚀面垂直于水平面并位于所述反应腔的内侧;所述反应腔的底部设置有刻蚀液的输入口,用于刻蚀液从底部注入直至充满所述反应腔;排液阀,所述排液阀连接在反应腔的底部,用于将反应后的刻蚀液,和或,清洁后的纯水从反应腔内排出;所述反应腔的底部设置有进水口,用于使纯水从底部注入直至充满所述反应腔使清洗刻蚀后的刻蚀面。

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