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摘要：本实用新型提供一种溅射靶材加热平台，涉及靶材加热技术领域，包括：固定底板，所述固定底板的底部靠近四个边角位置均固定连接有支撑腿，所述固定底板的顶部开设有凹槽，所述凹槽的顶部靠近中心处固定连接有固定块；升降组件，所述升降组件固定连接在固定底板的外表面，所述升降组件包括安装架；加热组件，所述加热组件固定连接在固定块的顶部，所述加热组件包括加热平台本体。本实用新型中，通过两个电动伸缩杆的输出端对应伸缩，上加热板会对应的对溅射靶材进行抵触和分离，解决了背景技术中，对溅射靶材加热过程中，需要同时转动两个螺纹杆，使上加热板对应的上下移动，操作步骤较为繁琐，降低了溅射靶材的加热效率的问题。
主权项：1.一种溅射靶材加热平台，其特征在于，包括：固定底板1，所述固定底板1的底部靠近四个边角位置均固定连接有支撑腿2，所述固定底板1的顶部开设有凹槽3，所述凹槽3的顶部靠近中心处固定连接有固定块4；升降组件5，所述升降组件5固定连接在固定底板1的外表面，所述升降组件5包括安装架501；加热组件6，所述加热组件6固定连接在固定块4的顶部，所述加热组件6包括加热平台本体601。
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百度查询： 上海芯立电子科技有限公司 一种溅射靶材加热平台
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