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一种量测装置及量测系统 

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摘要:本发明涉及自动量测技术领域,为一种三维量测方法,尤其是涉及一种量测装置及量测系统。包括投影单元和成像单元,其中投影单元包括环绕所述成像单元设置的多个投影部件,且每个所述投影部件的视野能够将所述待检测物体表面进行覆盖,每个所述投影部件用于产生不同颜色结构光并形成对应的投影光路。本发明实施例通过同步产生多个具有不同颜色的结构光并形成多个投影光路,降低结构光拍照时间,提升整机设备的效能,减少结构光对于部分物料成像时的死角。整体上实现对于芯片产品表面的完整高速图像采集。

主权项:1.一种量测装置,其特征在于,包括:投影单元,用于同步产生多个投影光路并向待检测物体表面进行投射,并经所述待检测物体表面将多个所述投影光路进行反射形成多个反射光路;成像单元,用于接收多个所述反射光路,并捕捉每个所述反射光路所对应的光信号并生成图像;所述投影单元包括环绕所述成像单元设置的多个投影部件,且每个所述投影部件的视野能够将所述待检测物体表面进行覆盖,每个所述投影部件用于产生不同颜色结构光并形成对应的投影光路。

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