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摘要：在一示例中，所公开的装置的一实施方案描述了一种用于支撑衬底的衬底接触环，该衬底接触环包含外围结构，其设定尺寸并且被配置成支撑在所述衬底接触环内的所述衬底。所述外围结构包含基本平坦的环形部和与所述基本平坦的环形部机械耦合的接触指的间隔阵列。所述接触指的间隔阵列中的每一者是弹性可动的以接合所述衬底接触环内所支撑的所述衬底的边缘。所述接触指中的每一者的近端与所述衬底接触环的所述平坦的环形部机械耦合，并且所述接触指中的每一者的远端能朝所述衬底接触环径向内侧和外侧弹性移动，以在所述衬底交替地被支撑或从所述衬底接触环移除时，交替地接合和释放所述衬底的边缘。公开了其他装置和方法。
主权项：1.一种衬底接触环，其用于支撑衬底，该衬底接触环包含：外围结构，其设定尺寸并且被配置成支撑在所述衬底接触环内的所述衬底，所述外围结构包含：基本平坦的环形部；以及接触指的间隔阵列，其与所述基本平坦的环形部机械耦合，所述接触指的间隔阵列中的每一者是弹性可动的以接合所述衬底接触环内所支撑的所述衬底的边缘，所述接触指中的每一者的近端与所述衬底接触环的所述平坦的环形部机械耦合，所述接触指中的每一者的远端能朝所述衬底接触环径向内侧和外侧弹性移动，以在所述衬底交替地被支撑在所述衬底接触环内且从所述衬底接触环移除时，交替地接合和释放所述衬底的边缘。
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百度查询： 朗姆研究公司 衬底粘附和破损的减轻
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