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摘要：本发明提供了一种悬挂结构及包含其的探测模块、微位移探测装置，悬挂结构包括中心区、固定框架和若干悬挂梁，中心区为圆形，中心区用于固定测针的上端或支承反射镜组件下端；固定框架绕中心区设置，固定框架的内边缘为圆形，固定框架的内边缘与中心区同轴设置，固定框架用于与其它部件相固定；悬挂梁设置于中心区、固定框架之间，悬挂梁的两端分别与中心区的外边缘、固定框架的内边缘相连接；若干悬挂梁沿中心区的周向均匀分布。通过若干沿周向均匀分布的悬挂梁连接中心区，使固定在中心区的测针受力均匀，测针在不受外力的情况下能保持竖直状态，同时也不妨碍测球跟随样品表面的起伏发生位移，保证了样品测量的精确度和稳定性。
主权项：1.一种悬挂结构，所述悬挂结构用于悬挂测针，其特征在于，所述悬挂结构包括：中心区，所述中心区为圆形，所述中心区用于固定所述测针的上端；固定框架，所述固定框架绕所述中心区设置，所述固定框架的内边缘为圆形，所述固定框架的内边缘与所述中心区同轴设置，所述固定框架用于与其它部件相固定；若干悬挂梁，所述悬挂梁设置于所述中心区、固定框架之间，所述悬挂梁的两端分别与所述中心区的外边缘、所述固定框架的内边缘相连接；所述若干悬挂梁沿所述中心区的周向均匀分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心) 上海计测信息科技有限公司 悬挂结构及包含其的探测模块、微位移探测装置
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