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摘要:本发明提供了一种纳米颗粒分选装置及其制备方法,属于纳米颗粒分选领域,具体包括采用电子束光刻技术在二氧化硅基底上刻画出规则阵列排布的纳米柱生长区域;通过化学气相沉积技术或原子层沉积技术,在所述纳米柱生长区域生长硅纳米柱、并得到具有介电超表面的纳米粒子分选装置,所述硅纳米柱的直径和高度满足实验对电磁共振特性的精确要求,在特定波长激光的照明作用下,所述介电超表面产生光学梯度力,从而选择性地捕获特定尺寸的纳米颗粒实现对纳米颗粒的分选。通过本申请的处理方案,可以对特定粒径的纳米颗粒进行分选。
主权项:1.一种纳米颗粒分选装置的制备方法,其特征在于,包括:采用电子束光刻技术在二氧化硅基底上刻画出规则阵列排布的纳米柱生长区域;通过化学气相沉积技术或原子层沉积技术,硅纳米柱在所述纳米柱生长区域生长,并得到具有介电超表面的纳米粒子分选装置,所述硅纳米柱的直径和高度满足实验对电磁共振特性的精确要求,在特定波长激光的照明作用下,所述介电超表面产生光学梯度力,从而选择性地捕获特定尺寸的纳米颗粒实现对纳米颗粒的分选。
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百度查询: 上海纬冉科技有限公司 纳米颗粒分选装置及其制备方法
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