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摘要：本发明提供了一种MEMS探针包括头部、基部及悬臂。头部包括与待检测产品的电极端子接触的接触部及设置于所述接触部一侧的用于CCD识别的识别部，所述识别部设置于悬臂侧。所述悬臂包括由基部在水平向上延伸形成与所述接触部连接的悬臂梁；所述悬臂梁与接触部的连接固定点与所述悬臂梁与所述基部的连接固定点之间设置有高度差，所述悬臂与所述基部之间呈一体化。本发明的有益效果体现在：本发明的探针提高了CCD识别时的精度和准确度，同时，有效的控制了与PAD接触面，从而减少损坏待检测半导体电路的概率。
主权项：1.一种MEMS探针，其特征在于：包括头部，所述头部包括与待检测产品的电极端子接触的接触部及设置于所述接触部一侧的用于CCD识别的识别部；所述识别部设置有间隔差的识别凸起；所述接触部与待检测产品表面设置有角度截面；基部，用于安装所述MEMS探针，使其固定于探针基板上，所述基部呈板状；悬臂，连接所述头部与所述基部，包括由基部在水平向上延伸形成与所述接触部连接的悬臂梁；所述悬臂梁与接触部的连接固定点与所述悬臂梁与所述基部的连接固定点之间设置有高度差，所述悬臂与所述基部之间呈一体化。
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百度查询： 苏州和林微纳科技股份有限公司 一种MEMS探针
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