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摘要：本发明涉及微纳驱动、微纳加工以及生物医学研究领域，特指一种利用具有高速动态生长特性的蒸汽泡作为驱动源，实现液下微悬臂梁高速驱动的方法。其特征在于，该方法利用蒸汽泡内部压力或能量的迅速释放，推动微悬臂梁高速运动，且最大振幅高度可控。本发明实现了微悬臂梁的液下高速驱动，操作简单，且为无接触式操作，微悬臂梁的驱动速度及最大振幅可以通过输入激光的功率P进行调控。由于蒸汽泡直接在微悬臂梁自由端进行驱动，本发明有着驱动效率高、驱动作用强、驱动精度高的优点，在表面微纳加工和单细胞穿刺等领域具有广泛的应用前景。
主权项：1.一种基于蒸汽泡的液下微悬臂梁高速驱动方法，其特征在于：为待驱动微悬臂梁上表面镀上贵金属纳米膜，并使用激光经显微物镜聚焦后照射到放置于溶液环境中的微悬臂梁上表面；当激光开启时，超过阈值功率的激光在短暂延迟时间后会在微悬臂梁上表面触发蒸汽泡成核和生长；蒸汽泡在膨胀阶段内部压力或能量迅速释放，推动微悬臂高速运动，微悬臂梁的最大振幅与输入激光功率有关；停止激光照射，短时间内探针恢复稳定；再次输入激光能量可实现下次驱动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种基于蒸汽泡的液下微悬臂梁高速驱动方法
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