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摘要：本发明涉及光电催化技术，旨在提供一种基于磁控溅射的Ta3N5基光电极及制备方法。该Ta3N5基光电极是在石英玻璃基底上具有基于磁控溅射并经热氮化和涂覆处理后形成的多层膜结构，由下至上依次包括第一Ti金属层、Pt导电金属层、TixSiy层、Ta3N5层和MNPs纳米金属颗粒；TixSiy层由第二Ti金属层与SiO2层、Ta3N5层由Ta2O5层与NH3分别发生反应后结合转化所形成；MNPs金属颗粒中含有Ag或Cu。本发明能够大幅节省贵金属用量，降低制备成本，扩大应用范围；有利于提高光生载流子的运输，能够极大提升光电利用效率；极大降低两种光热应用界面之间的能量损耗，提升单体光电极的光热利用效率。
主权项：1.一种基于磁控溅射的Ta3N5基光电极，其特征在于，该Ta3N5基光电极是以石英玻璃作为基底，在基底上具有基于磁控溅射并经热氮化和涂覆处理后形成的多层膜结构；所述多层膜结构由下至上依次包括第一Ti金属层、Pt导电金属层、TixSiy层、Ta3N5层和MNPs纳米金属颗粒；所述TixSiy层是由第二Ti金属层与SiO2层发生反应后结合转化所形成的均一材质层，Ta3N5层是由Ta2O5层与NH3发生反应后结合转化所形成的均一材质层；所述MNPs金属颗粒中含有Ag或Cu，M指代具有光热特性的Ag或Cu。
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百度查询： 浙江大学 一种基于磁控溅射的Ta3N5基光电极及制备方法
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