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摘要：本发明提供一种半导体加热吸盘及制备方法及应用，加热基板采用石墨烯发热陶瓷基板，石墨烯发热陶瓷基板的制备如下：S1、在光洁度Ra＜0.008μm的陶瓷基板表面制备电极，得到预处理陶瓷基板；S2、将石墨烯涂料涂覆在预处理陶瓷基板表面，干燥、烧结得到石墨烯发热陶瓷基板；所述石墨烯涂料采用石墨烯、硅烷偶联剂、硅酸钾、硅丙乳液、聚丙烯酸钠、消泡剂和成膜剂混合制备。本发明可以显著提升电子设备的性能，其超高的导电性能和优异的热管理性能将有助于实现更快的信号传输和更有效的散热，将推动电子行业的创新发展。
主权项：1.一种半导体加热吸盘，其特征在于，加热基板采用石墨烯发热陶瓷基板，石墨烯发热陶瓷基板的制备如下：S1、在光洁度Ra＜0.008μm的陶瓷基板表面制备电极，得到预处理陶瓷基板；S2、将石墨烯涂料涂覆在预处理陶瓷基板表面，干燥、烧结得到石墨烯发热陶瓷基板；所述石墨烯涂料采用石墨烯、硅烷偶联剂、硅酸钾、硅丙乳液、聚丙烯酸钠、消泡剂和成膜剂混合制备。
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百度查询： 昆山瑞芯源光电科技有限公司 一种半导体加热吸盘及制备方法及应用
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