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摘要：本发明公开了一种铝合金二次硬质阳极氧化工艺，所述铝合金二次硬质阳极氧化工艺包括以下步骤：脱脂、碱蚀、除灰、一次硬质阳极氧化、二次硬质阳极氧化和封孔六步，其中一次硬质阳极氧化的方式是使用一次电解液在‑5℃～0℃的条件下进行阳极氧化，阳极氧化的电流密度为2‑4Adm2，一次氧化结束后使用纯水冲洗工件表面，去除工件表面残余的一次电解液；二次硬质阳极氧化的方式是使用二次电解液在3～10℃的条件下进行阳极氧化，电流密度1.5‑2Adm2，二次氧化结束后使用纯水冲洗工件表面去除工件表面残余的二次电解液。通过上述两次硬质阳极氧化覆膜的方式，本发明能够同时提升氧化膜的硬度、绝缘性能和耐腐蚀性能，满足晶圆蚀刻和清洗的要求。
主权项：1.一种铝合金二次硬质阳极氧化工艺，其特征在于，所述铝合金二次硬质阳极氧化工艺包括以下步骤：第一步脱脂在温度为50～70℃的水中添加弱碱性脱脂剂制成脱脂液，然后将待处理的铝合金工件装夹在专用的挂具上后浸入脱脂液中在超声波作用下去除工件表面的油脂和污物，然后使用清水冲洗表面；第二步碱蚀将清洗后的工件浸入浓度为40～50gL的NaOH溶液中10-20s，去除铝合金表面的氧化层，然后使用清水冲洗工件表面去除残留碱液；第三步除灰将冲洗后的工件浸入酸性溶液中20～60s去除工件表面沉积物然后使用清水冲洗去除工件表面灰分；第四步一次硬质阳极氧化使用一次电解液在-5℃～0℃的条件下进行阳极氧化，阳极氧化的电流密度为2-4Adm2，一次氧化结束后使用纯水冲洗工件表面，去除工件表面残余的一次电解液；第五步二次硬质阳极氧化使用二次电解液在3～10℃的条件下进行阳极氧化，电流密度1.5～2Adm2，二次氧化结束后使用纯水冲洗工件表面去除工件表面残余的二次电解液；第六步封孔将工件放入预先配制的封闭液中在80～95℃的条件下对氧化膜的膜面进行封闭，封闭完成后用纯水冲洗工件表面去除残余封闭液，然后对工件进行干燥处理并将工件从专用挂具上取下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常熟市兆恒众力精密机械有限公司 一种铝合金二次硬质阳极氧化工艺
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