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一种芯片电镀退火用高温烘烤结构 

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摘要:本发明公开了一种芯片电镀退火用高温烘烤结构,属于芯片生产设备技术领域,本发明包括:烘烤柜和若干用于固定芯片的安装组件,所述烘烤柜的开口端一侧铰接连接有柜门,所述烘烤柜的两端铰接连接有两个对称设置的电推杆,两个所述电推杆的一端与分别柜门的两端铰接连接,所述烘烤柜上设有循环热风机构,所述烘烤柜的内底壁设有两个对称设置的滑动支撑机构,两个所述滑动支撑机构的上端固定连接有圆底壳,所述柜门的内侧壁铰接连接有拉杆。本发明通过设置安装组件和多轴自转机构,实现了对芯片的竖直固定,使可进行双面烘干,并且可使安装组件上的芯片做圆周运动的同时并自转,使芯片两面均受热均匀,提高烘烤质量。

主权项:1.一种芯片电镀退火用高温烘烤结构,其特征在于,包括:烘烤柜(1)和若干用于固定芯片的安装组件,所述烘烤柜(1)的开口端一侧铰接连接有柜门(2),所述烘烤柜(1)的两端铰接连接有两个对称设置的电推杆(3),两个所述电推杆(3)的一端与分别柜门(2)的两端铰接连接,所述烘烤柜(1)上设有循环热风机构,所述烘烤柜(1)的内底壁设有两个对称设置的滑动支撑机构,两个所述滑动支撑机构的上端固定连接有圆底壳(4),所述柜门(2)的内侧壁铰接连接有拉杆(5),所述圆底壳(4)的前侧与拉杆(5)的一端铰接连接,所述圆底壳(4)上设有多轴自转机构,所述多轴自转机构的上端固定连接有若干等间距环绕设置的下插座(6),所述多轴自转机构的上侧壁固定连接固定柱(7),所述固定柱(7)的上端固定连接有顶板(8),所述顶板(8)的下侧壁通过转动件(9)转动连接有弹簧杆(10),所述弹簧杆(10)的下端固定连接有与下插座(6)对应设置的上插座(11),所述安装组件的两端分别插设于下插座(6)和上插座(11)中。

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