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摘要：一种槽式湿法刻蚀装置包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；还包括，气压保持管，所述气压保持管与横向管道连通，用于保持横向管道内的气压与外部气压平衡。本发明槽式湿法刻蚀装置保证每次换酸后酸的浓度能保持稳定。
主权项：1.一种槽式湿法刻蚀装置，其特征在于，包括：工艺槽，至少一个酸液供应罐，连接管道，其中，所述工艺槽的位置低于酸液供应罐的位置，所述酸液供应罐通过连接管道与所述工艺槽连通，且所述酸液供应罐通过特定的连接管道与厂务供液端连接，所述连接管道至少包括连接的横向管道和纵向管道，所述横向管道的入口端与所述酸液供应罐连接，所述纵向管道的出口端与所述工艺槽连接，所述酸液供应罐用于存储酸液以及将存储的酸液通过连接管道供应到工艺槽中，所述工艺槽用于将所述酸液供应罐供应的酸液稀释或者将供应的多种酸液混合，以进行刻蚀工艺；还包括，气压保持管，所述气压保持管与横向管道连通，用于保持横向管道内的气压与外部气压平衡。
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百度查询： 长江存储科技有限责任公司 槽式湿法刻蚀装置
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