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摘要：一种感应耦合电浆设备及其操作方法，感应耦合电浆设备包含反应室、线圈以及晶圆基座。反应室具有本体以及介电板体，其中本体以及介电板体定义一空间，其中介电板体具有凹槽，凹槽朝向该空间。线圈设置于该介电板体背向该空间的表面。晶圆基座设置于该空间中。
主权项：1.一种感应耦合电浆设备，其特征在于，包含：一反应室，具有一本体以及一介电板体，其中该本体以及该介电板体定义一空间，其中该介电板体具有一凹槽，该凹槽朝向该空间；一线圈，设置于该介电板体背向该空间的一表面，其中该线圈包含一第一线圈部分以及一第二线圈部分，该第一线圈部分电连接该第二线圈部分，且在垂直于该介电板体的该表面的一方向上，该第一线圈部分以及该第二线圈部分不与该凹槽重叠；以及一晶圆基座，设置于该空间中。
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百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 感应耦合电浆设备及其操作方法
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