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摘要：一种激光加工装置，适于对一待加工件加工。激光加工装置包含激光模块、光学组件及聚焦镜组件。激光模块配置为输出单模激光光束于光束路径。光学组件设置于光束路径上，配置为对单模激光光束分歧形成区域激光。聚焦镜组件邻近设置于光学组件，配置为聚焦区域激光于蚀刻位置。
主权项：1.一种激光加工装置，其特征在于，适于对一待加工件加工，该激光加工装置包含：一激光模块，配置为输出一单模激光光束于一光束路径；一光学组件，设置于该光束路径上，配置为对该单模激光光束分歧形成一区域激光；以及一聚焦镜组件，邻近设置于该光学组件，配置为聚焦该区域激光于一蚀刻位置。
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