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摘要：本实用新型属于减压干燥装置技术领域，尤其涉及一种半导体薄膜浆料减压干燥装置。本实用新型提供一种半导体薄膜浆料减压干燥装置，其能通过在真空腔室上设置的空气净化单元和匀风板单元方式，使得：1、空气净化单元对外部气体进行净化过滤处理，从而为真空腔室提供实验所需的洁净干燥气体，方便使用者进行实验，且结构简单、制作成本和维护成本低；2、设备在抽真空或恢复气压时，腔室内与外部气体存在气压差，匀风板单元的设置能够减少气流对干燥后涂覆层的二次影响，提高涂覆层质量和性能。
主权项：1.一种半导体薄膜浆料减压干燥装置，结构包括真空腔室（11）、基板托盘（12）、排气口（13）、供气口（14）和真空泵（15），其特征在于，还包括设置在所述真空腔室（11）上、并与所述供气口（14）连通的空气净化单元（1），以及设置在所述真空腔室（11）内、且覆盖所述排气口（13）和供气口（14）、并用于在基板（a）上形成均匀气流的匀风板单元（2）。
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百度查询： 浙江御辰东智能科技有限公司 一种半导体薄膜浆料减压干燥装置
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