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摘要:本实用新型涉及PECVD生产设备领域,尤其是指一种具有快拆机构的转动架,其包括固定支架以及多个转架组件,多个所述转架组件通过第一磁性快拆机构均匀可拆卸地安装在所述固定支架中;所述转架组件能够相对于所述固定支架进行旋转运动;所述转架组件包括支承框架和托盘,多个所述托盘可拆卸安装在所述支承框架中;所述固定支架包括若干个固定柱,若干个所述固定柱的至少一端连接有固定端板;所述支承框架包括支承柱,所述支承柱的至少一端连接有支承端板。本实用新型通过设置快拆机构,实现转架组件和托盘的快速拆卸和安装,无需旋拧螺纹紧固件,省时省力,且避免了螺纹紧固件因发生松动而导致掉落到PECVD设备中的风险。
主权项:1.一种具有快拆机构的转动架,其特征在于:所述转动架包括固定支架11以及多个转架组件5,多个所述转架组件5通过第一磁性快拆机构4均匀可拆卸地安装在所述固定支架11中;所述转架组件5能够相对于所述固定支架11进行旋转运动;所述转架组件5包括支承框架51和托盘52,多个所述托盘52可拆卸安装在所述支承框架51中;所述固定支架11包括若干个固定柱112,若干个所述固定柱112的至少一端连接有固定端板111;所述支承框架51包括支承柱511,所述支承柱511的至少一端连接有支承端板512。
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