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摘要：本发明公开了一种晶圆表面吸附水的激光检测方法，所述方法为：在激光检测装置内设置两束激光，一束为主激光，通过聚焦后在晶圆上形成较小的光斑，进行小面积快速加热；另一束为探测光，与主激光同轴，在加热的同时对晶圆进行水分探测。优点，本发明方法，不需要加热整个晶圆，水分蒸发速度快，而且蒸发后还未扩散就立即被探。
主权项：1.一种晶圆表面吸附水的激光检测方法，其特征在于，所述方法为：在激光检测装置内设置两束激光，一束为主激光，通过聚焦后在晶圆上形成较小的光斑，进行小面积快速加热；另一束为探测光，与主激光同轴，在加热的同时对晶圆进行水分探测。
权利要求：
百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 一种晶圆表面吸附水的激光检测方法
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