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摘要：公开了关于包含护罩的净化板的示例。护罩有助于避免在多站处理室中站之间的串扰。一示例提供包含处理室的处理工具，处理室包含多个站。处理工具还包含具有面向室的表面的净化板。净化板还包含被配置成容纳多个站的工艺气体出口的多个切口。净化板还包含围绕多个切口中的第一切口的周边的至少一部分配置的护罩。护罩远离面向室的表面延伸。净化板还包含形成在面向室的表面和护罩中的多个净化气体孔。
主权项：1.一种处理工具，其包含：处理室，其包含：多个站，和净化板，其包含：面向室的表面，多个切口，其被配置成容纳所述多个站的工艺气体出口，护罩，其布置成围绕所述多个切口中的第一切口的周边的至少一部分，所述护罩远离所述面向室的表面延伸，以及多个净化气体孔，其形成在所述面向室的表面和所述护罩中。
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 具有护罩的处理室净化板和基座屏蔽系统
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