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摘要：本实用新型提供了一种半导体用二次汽化单元及半导体用二次汽化装置。该二次汽化单元包括：可拆卸半导体管路模块和包裹所述可拆卸半导体管路模块的辅助加热装置；所述可拆卸半导体管路模块包括传输反应源的半导体管路以及外罩于所述半导体管路的导热壳；所述辅助加热装置包括内置的热电偶、铺设于所述辅助加热装置内的保温层以及嵌于所述保温层内的多条加热丝。
主权项：1.一种半导体用二次汽化单元，其特征在于，包括：可拆卸半导体管路模块和包裹所述可拆卸半导体管路模块的辅助加热装置；所述可拆卸半导体管路模块包括传输反应源的半导体管路以及外罩于所述半导体管路的导热壳；所述辅助加热装置包括内置的热电偶、铺设于所述辅助加热装置内的保温层以及嵌于所述保温层内的多条加热丝。
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 半导体用二次汽化单元及半导体用二次汽化装置
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