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申请/专利权人：英穆自动化科技(厦门)有限公司
申请日：2024-11-13
公开（公告）日：2024-12-17
公开（公告）号：CN119141614A
专利技术分类：..具有上述任一组中未包括其运动的切割元件[2006.01]
专利摘要：本发明公开了一种晶圆溢胶修边设备和方法，包括旋转吸附装置、刀具装置、移动装置和定位装置；旋转吸附装置包括用于吸附并带动晶圆旋转的晶圆载台；刀具装置安装于移动装置上，移动装置位于旋转吸附装置的外周，该移动装置用于带动刀具装置靠近或远离晶圆载台上的晶圆周缘；刀具装置包括旋转组件和浮动刀头组件；定位装置包括设于旋转吸附装置外周的视觉定位组件，视觉定位组件包括朝上进行视觉检测的检测窗口。借此，本发明的修边设备具有高度灵活性，可以实现刀具与晶圆的间距时时跟随，修边刀头不伤晶圆，溢胶修边均匀，可以实现对notch口的自动除胶。与人工相比，避免人工修边受力不均对晶圆的损伤和污染，有效提高生产效率和产品的良率。
专利权项：1.一种晶圆溢胶修边设备，其特征在于：包括旋转吸附装置、刀具装置、移动装置和定位装置；所述旋转吸附装置包括用于吸附并带动晶圆旋转的晶圆载台，所述晶圆载台的直径小于晶圆的直径；所述刀具装置安装于移动装置上，移动装置位于旋转吸附装置的外周，该移动装置用于带动刀具装置靠近或远离晶圆载台上的晶圆周缘；所述刀具装置包括旋转组件和浮动刀头组件，该浮动刀头组件的刀头能够自适应地前后伸缩活动，该旋转组件用于调节浮动刀头组件的旋转角度和倾斜角度；所述定位装置包括两个设于旋转吸附装置外周并周向间隔的视觉定位组件，所述视觉定位组件包括朝上进行视觉检测的检测窗口，并且检测窗口位于晶圆载台上的晶圆下方；两个视觉定位组件周向间隔90°；所述视觉定位组件包括视觉组件和视觉移动组件，所述检测窗口设置于视觉组件靠近旋转吸附装置的顶部；视觉移动组件控制视觉组件的检测窗口沿着晶圆载台的径向方向进行移动。
百度查询： 英穆自动化科技(厦门)有限公司 一种晶圆溢胶修边设备及方法
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