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摘要：一种改变衬底蚀刻过程的蚀刻参数的方法，所述方法包括：在蚀刻之前进行与衬底上的结构相关的第一度量的第一测量；在蚀刻之后进行与衬底上的结构相关的第二度量的第二测量；以及基于所述第一测量与所述第二测量之间的差改变所述蚀刻参数。
主权项：1.一种确定在配置衬底蚀刻过程中使用的蚀刻参数的方法，所述方法包括：提供表示蚀刻引入的效果的第一变量与所述蚀刻参数之间的关系；从经受通过所述蚀刻参数的初始值配置的所述衬底蚀刻过程后的衬底获得第一变量；以及由所述关系和所获得的第一变量确定所述蚀刻参数。
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 改变蚀刻参数的方法
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