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申请/专利权人：株式会社日立高新技术
申请日：2022-06-10
公开（公告）日：2024-12-20
公开（公告）号：CN119173988A
专利技术分类：.在制造或处理过程中的测试或测量[2006.01]
专利摘要：在理想的画质根据推定图像的区域而不同的情况下，难以进行学习以通过单一的损失函数来针对各区域推定不同画质的图像。一种试样的观察方法以及装置，取得第一学习用图像和与所述第一学习用图像对应的第二学习用图像，使用所述第一学习用图像和第二学习用图像，学习从第一学习用图像推定第二学习用图像的推定引擎的推定处理参数，在推定处理参数的学习中，将从第一学习用图像推定出的推定图像和与该第一学习用图像对应的第二学习用图像分割为区域Ri，使用以预定的基准评价各区域Ri中包含的第二学习用图像的像素群Pi和推定图像的像素群Qi的损失的损失函数Fi进行学习，其中，i＝1～N，N为区域数。
专利权项：1.一种试样的观察方法及装置，其特征在于，取得第一学习用图像和与所述第一学习用图像对应的第二学习用图像，使用所述第一学习用图像和第二学习用图像，学习从第一学习用图像推定第二学习用图像的推定引擎的推定处理参数，在推定处理参数的学习中，将从第一学习用图像推定出的推定图像和与该第一学习用图像对应的第二学习用图像分割为区域Ri，其中，i＝1～N，N为区域数，使用以预定的基准评价各区域Ri中包含的第二学习用图像的像素群Pi和推定图像的像素群Qi的损失的损失函数Fi进行学习。
百度查询： 株式会社日立高新技术 试样观察装置以及方法
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