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申请/专利权人:华为技术有限公司
申请日:2022-04-15
公开(公告)日:2024-12-20
公开(公告)号:CN119173755A
专利技术分类:..折射率;影响相位的性质,例如光程长度(G01N21/21优先)[2006.01]
专利摘要:本申请公开了一种检测系统及方法,该系统包括第一分光元件、第一探测设备、线性阵列光电接收器件和干涉元件。该检测系统中,通过第一分光元件将来自光学元件的第一束光分为第一透射光和第一反射光;进而第一探测设备可以检测第一反射光的光强变化值,该第一反射光的光强变化值用于表征光学元件的衍射效率;干涉元件可以接收第一透射光,得到并投影干涉条纹,进而线性阵列光电接收器件可以获取干涉条纹的图像信息,该图像信息用于表征光学元件的折射率变化量。如此,实现了对光学元件的衍射效率和折射率变化量的检测,进而可以对光学元件的性能进行评价,有助于改善光学元件的工艺。
专利权项:一种检测系统,其特征在于,所述系统包括第一分光元件、第一探测设备、线性阵列光电接收器件和干涉元件;所述第一分光元件,用于将来自光学元件的第一束光分为第一透射光和第一反射光;所述第一探测设备,用于检测所述第一反射光的光强变化值,所述第一反射光的光强变化值用于表征所述光学元件的衍射效率;所述干涉元件,用于接收所述第一透射光,得到并投影干涉条纹;所述线性阵列光电接收器件,用于获取所述干涉条纹的图像信息,所述图像信息用于表征所述光学元件的折射率变化量。
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