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申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶鸿精密机械制造有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司

申请日：2024-12-02

公开（公告）日：2024-12-31

公开（公告）号：CN119222243A

专利技术分类：.轴；轮轴[2006.01]

专利摘要：本申请公开了一种空气主轴，该空气主轴包括：壳体、主轴、转子、定子和气浮轴承；气浮轴承至少部分位于限位槽内并与限位槽之间存在间隙，气浮轴承开设有进气通道、第一辅气体通道和第二辅气体通道，第一辅气体通道具有第一通槽，第二辅气体通道具有第二通槽，间隙包括第一间隙和第二间隙，限位槽包括沿气浮轴承轴向分布的第一侧壁和第二侧壁，第一通槽内设置有第一推板，第二通槽内设置有第二推板，在气浮轴承处于倾斜的情况下，第一推板能够至少部分移动至第一间隙内并具有对第一侧壁的作用力，或，第二推板能够至少部分移动至第二间隙内并具有对第二侧壁的作用力。通过上述设置，使气浮轴承能够自动复位，增强气浮轴承的稳定性。

专利权项：1.一种空气主轴100，所述空气主轴100包括：壳体11；主轴12，所述主轴12至少部分位于所述壳体11内并与所述壳体11转动连接，所述主轴12开设有限位槽121；转子13，所述转子13位于所述壳体11内并与所述主轴12连接；定子14，所述定子14位于所述壳体11内并至少部分围绕所述转子13设置；气浮轴承15，所述气浮轴承15至少部分安装于所述壳体11内，并将所述主轴12转动连接至所述壳体11，所述气浮轴承15至少部分位于所述限位槽121内并与所述限位槽121之间存在间隙16，所述气浮轴承15开设有用于输送气体至所述间隙16的进气通道151；其特征在于，所述气浮轴承15开设有第一辅气体通道152和第二辅气体通道153，所述第一辅气体通道152具有连通所述气浮轴承15轴向的一端的第一通槽1521，所述第二辅气体通道153具有连通所述气浮轴承15轴向的另一端的第二通槽1531，所述间隙16包括第一间隙161和第二间隙162，所述限位槽121包括沿所述气浮轴承15轴向分布的第一侧壁1211和第二侧壁1212，所述第一间隙161位于所述气浮轴承15与所述第一侧壁1211之间，所述第二间隙162位于所述气浮轴承15与所述第二侧壁1212之间，所述第一通槽1521连通所述第一间隙161，所述第二通槽1531连通所述第二间隙162，所述第一通槽1521内设置有可活动的第一推板17，所述第二通槽1531内设置有可活动的第二推板18，在所述气浮轴承15处于倾斜的情况下，所述第一推板17能够至少部分移动至所述第一间隙161内并具有对所述第一侧壁1211的作用力，或，所述第二推板18能够至少部分移动至所述第二间隙162内并具有对所述第二侧壁1212的作用力。

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