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申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶鸿精密机械制造有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司

申请日：2024-12-02

公开（公告）日：2024-12-31

公开（公告）号：CN119222244A

专利技术分类：.轴；轮轴[2006.01]

专利摘要：本申请公开了一种空气主轴，该空气主轴包括：壳体、主轴、转子、定子和气浮轴承；气浮轴承包括轴承外圈和轴承内圈，轴承外圈与壳体连接，轴承内圈与主轴配合，轴承内圈包括固定部以及至少一个偏转部，固定部和至少一个偏转部沿气浮轴承的轴向分布，固定部与轴承外圈固定，气浮轴承还包括至少一个气囊，偏转部通过气囊与轴承外圈连接，气囊被配置为能够形变，以使得偏转部能够相对固定部发生偏转。通过上述设置，使气浮轴承能够自动复位，增强气浮轴承的稳定性。

专利权项：1.一种空气主轴（100），包括：壳体（11）；主轴（12），所述主轴（12）至少部分位于所述壳体（11）内并与所述壳体（11）转动连接；转子（13），所述转子（13）位于所述壳体（11）内并与所述主轴（12）连接；定子（14），所述定子（14）位于所述壳体（11）内并至少部分围绕所述转子（13）设置；气浮轴承（15），所述气浮轴承（15）至少部分安装于所述壳体（11）内，并将所述主轴（12）转动连接至所述壳体（11）；其特征在于，所述气浮轴承（15）包括轴承外圈（151）和轴承内圈（152），所述轴承外圈（151）与所述壳体（11）连接，所述轴承内圈（152）与所述主轴（12）配合，所述轴承内圈（152）包括固定部（1521）以及至少一个偏转部（1522），所述固定部（1521）和至少一个所述偏转部（1522）沿所述气浮轴承（15）的轴向分布，所述固定部（1521）与所述轴承外圈（151）固定，所述气浮轴承（15）还包括至少一个气囊（153），所述偏转部（1522）通过所述气囊（153）与所述轴承外圈（151）连接，所述气囊（153）被配置为能够形变，以使得所述偏转部（1522）能够相对所述固定部（1521）发生偏转。

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