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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
申请日：2023-11-17
公开（公告）日：2025-01-03
公开（公告）号：CN119252777A
专利技术分类：..用于传送的，例如在不同的工作站之间[2006.01]
专利摘要：本发明公开一种连续取料装置，包括：可沿水平方向移动的支撑板和晶圆卡塞盒，可沿竖直方向移动的所述晶圆卡塞盒内设置有若干片沿竖直方向间隔排列的晶圆，所述支撑板的下表面安装有一条形片，所述条形片与支撑板连接一端的上表面开设有一气槽，所述支撑板上开设有一与所述气槽对应的气孔，所述条形片靠近晶圆卡塞盒一端的上表面开设有若干个吸附孔，每个所述吸附孔周向的外侧均具有一凸起部。本发明既便于将条形片伸入上下叠置的晶圆片之间并对条形片上方的晶圆片进行吸附拾取、搬运且可以有效避免因吸附力不足导致晶圆片跌落的情况，又通过多个凸起部与晶圆片局部面接触，在保证对晶圆片吸附力的同时减少与晶圆片的接触干扰。
专利权项：1.一种连续取料装置，包括：可沿水平方向移动的支撑板（15）和晶圆卡塞盒（10），其特征在于：可沿竖直方向移动的所述晶圆卡塞盒（10）内设置有若干片沿竖直方向间隔排列的晶圆（100），所述支撑板（15）的下表面安装有一条形片（16），一端与支撑板（15）的下表面密封连接的所述条形片（16）的另一端水平向晶圆卡塞盒（10）方向延伸，所述条形片（16）的厚度小于相邻晶圆（100）之间的间距，使得所述条形片（16）可伸入2个相邻的晶圆（100）之间；所述条形片（16）与支撑板（15）连接一端的上表面开设有一气槽（161），所述支撑板（15）上开设有一与所述气槽（161）对应的气孔（151），上端与真空发生器连通的所述气孔（151）的下端与条形片（16）上的气槽（161）连通，所述条形片（16）靠近晶圆卡塞盒（10）一端的上表面开设有若干个吸附孔（162），每个所述吸附孔（162）与气槽（161）之间均通过开设于条形片（16）内的气道（163）连通，每个所述吸附孔（162）周向的外侧均具有一凸起部（285），使得该凸起部（285）的上表面高于条形片（16）的上表面并可与晶圆（100）的下表面接触。
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 连续取料装置
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