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申请/专利权人:苏州联讯仪器股份有限公司
申请日:2024-01-11
公开(公告)日:2025-01-03
公开(公告)号:CN119252779A
专利技术分类:..用于传送的,例如在不同的工作站之间[2006.01]
专利摘要:本发明公开一种晶圆接驳装置,包括:可在竖直方向上移动的活动支架和固定设置的基座,所述活动支架的上表面安装有一基板,所述基板的上表面分别通过至少一组滑轨与滑块可活动地安装有前载板、后载板,所述基板的下表面并位于前载板与后载板之间安装有一电机,所述电机输出轴的上端穿过基板并依次安装有第一凸轮、第二凸轮,所述基座一端的下方设置有一调节电机,该调节电机的输出轴竖直延伸至基座上方并与设置于前载板与后载板之间的转盘连接。本发明既实现对晶圆的接驳和位置转移,又实现对晶圆位置的自动检测识别并调节,还在实现接驳的同时对晶圆进行对中调节和夹持定位,避免经过对中和角度校正后的晶圆位置发生偏移。
专利权项:1.一种晶圆接驳装置,包括:可在竖直方向上移动的活动支架(14)和固定设置的基座(10),所述活动支架(14)的上表面安装有一基板(1),所述基座(10)设置于该基板(1)下方,其特征在于:所述基板(1)的上表面分别通过至少一组滑轨(11)与滑块(12)可活动地安装有前载板(2)、后载板(3),所述前载板(2)、后载板(3)各自的上表面均开设有一与所述晶圆(100)对应的弧形槽(5)且2个所述弧形槽(5)的侧壁相对设置;所述基板(1)的下表面并位于前载板(2)与后载板(3)之间安装有一电机(6),所述电机(6)输出轴的上端穿过基板(1)并依次安装有第一凸轮(71)、第二凸轮(72),在竖直方向上间隔设置的所述第一凸轮(71)与第二凸轮(72)在周向上相差180°,所述前载板(2)上安装有一与所述第一凸轮(71)配合的第一轴承(81),所述后载板(3)上安装有一与所述第二凸轮(72)配合的第二轴承(82),所述前载板(2)与后载板(3)之间连接有至少一根弹簧(9),使得所述第一凸轮(71)的凸起部与第一轴承(81)、第二凸轮(72)的凸起部与第二轴承(82)之间保持接触;所述基座(10)一端的下方设置有一调节电机(11),该调节电机(11)的输出轴竖直延伸至基座(10)上方并与设置于前载板(2)与后载板(3)之间的转盘(12)连接,当所述活动支架(14)在竖直方向上移动至第一位置时,所述前载板(2)、后载板(3)的上表面高于转盘(12)的上表面,当所述活动支架(14)在竖直方向上移动至第二位置时,所述转盘(12)的上表面高于前载板(2)、后载板(3)的上表面,所述基座(10)另一端的上表面并位于转盘(12)的外侧安装有至少一个传感器(4),所述晶圆(100)上形成有与所述传感器(4)对应的缺口(101),所述传感器(4)与调节电机(11)电连接。
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